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哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR

哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR

更新时间:2022-04-25

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简要描述:
哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR可产生径向弹性变形并带有外齿的柔轮和一个装在柔轮内部、呈椭圆形、外圈带有柔性滚动轴承的波发生器。
品牌其他品牌货号123
规格FB-20-128-2-GR供货周期一个月以上
主要用途设备应用领域电子
名称哈默纳科用途半导体、机器人、机械设备
材质是否进口

早期的扫描电子束曝光采用圆形束斑。为提高生产率又研制出方形束斑,其曝光面积是圆形束斑的25倍。后来发展的可变成形束,哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR其曝光速度比方形束又提高2倍以上。面曝光是使电子束先通过原版,这种原版是用别的方法制成的比加工目标大几倍的模板。再以1/5一1/10的例缩小投影到电致抗蚀剂上进行大规模集成电路图形的曝光。

一、离子束加工的基本原理和特点

   1.基本原理

   离子束加工是利用离子束对材料进行成形哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR或表面改性的加工方法。在真空条件下,将由离子源产生的离子经过电场加速,获得具有一定速度的离子投射到材料表面,产生溅射效应和注入效应。由于离子带正电荷,其质量比电子大数千、数万倍,所以离子束比电子束具有更大的撞击动能,它是靠微观的机械撞击能量来加工的。

   离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。具有一定动能的离子斜射到工件材料〔靶材)表面时,可以将表面的原子撞击出来,这就是离子的撞击效应和溅射效应。                                   


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