品牌 | 其他品牌 | 货号 | 123 |
---|---|---|---|
规格 | FB-20-128-2-GR | 供货周期 | 一个月以上 |
主要用途 | 设备 | 应用领域 | 电子 |
名称 | 哈默纳科 | 用途 | 半导体、机器人、机械设备 |
材质 | 钢 | 是否进口 | 是 |
早期的扫描电子束曝光采用圆形束斑。为提高生产率又研制出方形束斑,其曝光面积是圆形束斑的25倍。后来发展的可变成形束,哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR其曝光速度比方形束又提高2倍以上。面曝光是使电子束先通过原版,这种原版是用别的方法制成的比加工目标大几倍的模板。再以1/5一1/10的例缩小投影到电致抗蚀剂上进行大规模集成电路图形的曝光。
一、离子束加工的基本原理和特点
1.基本原理
离子束加工是利用离子束对材料进行成形哈默纳科离子束加工谐波FB-20-128-2-GR或表面改性的加工方法。在真空条件下,将由离子源产生的离子经过电场加速,获得具有一定速度的离子投射到材料表面,产生溅射效应和注入效应。由于离子带正电荷,其质量比电子大数千、数万倍,所以离子束比电子束具有更大的撞击动能,它是靠微观的机械撞击能量来加工的。
离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。具有一定动能的离子斜射到工件材料〔靶材)表面时,可以将表面的原子撞击出来,这就是离子的撞击效应和溅射效应。